首先对3种常用的硅粉制备技术进行了介绍；然后将分形混沌理论引入硅粉制备领域，通过对硅粉制备过程中的动态能量进行调控，突破了传统硅粉制备技术中能量输入方式与粉碎机理单一性的局限；通过采用X射线衍射(XRD)法和电子背散射衍射(EBSD)法，研究了硅粉的微观结构与其化学反应活性的关联性，提出了一种化学反应活性快速评价方法。研究结果表明：对撞法和冲旋法这2种硅粉制备技术可降低硅粉的晶粒度，增大晶格应力，增多硅粉的(111)晶面，显著增大硅粉颗粒的比表面积，从而提高硅粉的化学反应活性。在多晶硅/有机硅合成过程中，对撞法和冲旋法制备的硅粉的化学反应活性得到提高，为太阳电池用硅片的低成本化生产提供了优异的硅粉制备技术。