提高太阳电池光电转换效率主要通过改变单晶硅表面的微结构和分区掺杂工艺，而通过改变SiO2/SiNx叠层薄膜的厚度及工艺条件可以增强其对硅片的钝化及光陷作用，因此涉及到薄膜的厚度与其他光学参数的测量和表征问题。首先针对晶硅太阳电池表面减反射膜的材料、制备技术和性能测试进行了介绍；然后针对减反射膜的光学参数测试，介绍了1种适用于生产线全检的在线椭偏仪，并通过实验对该在线椭偏仪与常用离线椭偏仪的测试性能进行了对比。研究结果表明：1)该在线椭偏仪采用非接触测量，可实现晶硅太阳电池的“零”损耗；可实现生产线全检，剔除异常晶硅太阳电池，降低成本，提高整线质量；降低人工抽测成本和碎片风险；在生产线工艺调整时，可提供实时监控数据；匹配制造执行系统(MES)，可实现数据的工艺追溯，有利于快速分析问题。2)小批量晶硅太阳电池的SiNx减反射膜厚度对比测试和折射率对比测试的结果均显示，该在线椭偏仪与离线激光椭偏仪的测试结果基本一致，且已得到太阳电池生产厂家的认可。3)经过量产应用验证，证明了该在线椭偏仪可为提升晶硅太阳电池生产线的良率提供有效帮助。