孔深对射频空心阴极放电特性的影响

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孔深对射频空心阴极放电特性的影响

气体放电及其应用专题 | 更新时间：2025-12-08

- 孔深对射频空心阴极放电特性的影响
- 孔深对射频空心阴极放电特性的影响
- 高电压技术 2014年40卷第10期页码：3068-3072
- 作者机构：
  
  北京理工大学物理学院2. 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目（11005009;11175024;11375031）;国家十二五科技支撑项目（2011BAD24B01）;北京市印刷学院重点项目（23190113051）;北京印刷学院项目（E-b-2012-40）~~
- DOI：10.13336/j.1003-6520.hve.2014.10.018
  中图分类号： O462
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]姜鑫先,王春晓,何锋,陈强,欧阳吉庭.孔深对射频空心阴极放电特性的影响[J].高电压技术,2014,40(10):3068-3072.

姜鑫先, 王春晓, 何锋, et al. 孔深对射频空心阴极放电特性的影响[J]. 2014, 40(10): 3068-3072.
[1]姜鑫先,王春晓,何锋,陈强,欧阳吉庭.孔深对射频空心阴极放电特性的影响[J].高电压技术,2014,40(10):3068-3072. DOI： 10.13336/j.1003-6520.hve.2014.10.018.

姜鑫先, 王春晓, 何锋, et al. 孔深对射频空心阴极放电特性的影响[J]. 2014, 40(10): 3068-3072. DOI： 10.13336/j.1003-6520.hve.2014.10.018.

为了提高射频空心阴极放电中的等离子体密度

通过实验和数值模拟研究了氩气环境下孔深对射频空心阴极放电的影响。在实验上利用Langmuir探针测量了射频空心阴极放电等离子体的电子数密度

并对不同孔深条件下获得的电子数密度进行了比较。利用二维流体模型模拟了空心阴极结构下的射频放电

获得了电子数密度和电离速率的分布随孔深的变化规律。模拟结果表明:大的孔深可以增加孔内强电离区域的大小

并使等离子体密度增加

这一规律与实验结果相符;当孔深与孔径的比值大于3时

等离子体密度基本达到饱和。

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