PCB激光投影光刻照明系统的设计

林清华; 李文静; 宋超; 王鲁宾

欢迎来到能源电力期刊网！

English Version 期刊登录

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

PCB激光投影光刻照明系统的设计

综合研究 | 更新时间：2026-05-27

- PCB激光投影光刻照明系统的设计
- Design of the Illumination System for Laser Projection Lithography
- 广东工业大学学报 2007年24卷第2期页码：33-35
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
移动端阅览
林清华, 李文静, 宋超, 王鲁宾. PCB激光投影光刻照明系统的设计[J]. 广东工业大学学报, 2007, 24(2): 33-35.

LIN Qing-hua, LI Wen-jing, SONG Chao, et al. Design of the Illumination System for Laser Projection Lithography[J]. 2007, 24(2): 33-35.
林清华, 李文静, 宋超, 王鲁宾. PCB激光投影光刻照明系统的设计[J]. 广东工业大学学报, 2007, 24(2): 33-35. DOI：

LIN Qing-hua, LI Wen-jing, SONG Chao, et al. Design of the Illumination System for Laser Projection Lithography[J]. 2007, 24(2): 33-35. DOI：

摘要

针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机

利用ZEMAX工程光学设计软件

对其照明系统进行了模拟设计与优化

并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统

其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.

Abstract

For the laser projection lithography system used for the production of large-area

high processing throughput

and cost-effective printed circuit boards(PCB)

its illumination system is simulation-designed and optimized using ZEMAX optical design software

and the optimized results are analyzed.The designed results

including uniform of image plane

size and shape of beam geometry

aberration as well as matching of illumination system with projection lens

fulfill the demands of laser illumination syste...

关键词

Keywords

references

林大键,李展. 亚微米i线投影光刻物镜的光学设计与研制[J]. 光电工程. 1997(S1)

匡丽娟,翟金会,阮玉,宋镜明,胡勇. 复眼透镜阵列应用于均匀照明系统的特性研究[J]. 光学与光电技术. 2005(06)

杜国军,陈涛,左铁钏. 应用于准分子激光的透镜阵列均束器[J]. 光电子·激光. 2005(03)

张强. 分步投影光刻机的照明光学系统[J]. 航空精密制造技术. 1996(06)

段立安. 一种可实用的照明曝光系统[J]. 电子工业专用设备. 2004(02)

李尧. i线(365nm)分步投影光刻机曝光系统[J]. 电子工业专用设备. 2001(04)

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

SCA-YOLO: 基于可变形卷积与上下文感知注意力的实时目标检测

面向灾后救援的多无人机通感算一体化资源分配优化方法

具守恒量波动方程的循环双子网物理信息神经网络

多尺度对比嵌入增强的自适应入侵检测模型

基于数字混频的脉冲式激光测距方法的研究与实现