纳米晶Ba(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜的外延生长与介电特性

杨中服; 唐新桂

欢迎来到能源电力期刊网！

English Version 期刊登录

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

纳米晶Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃薄膜的外延生长与介电特性

综合研究 | 更新时间：2026-05-27

- 纳米晶Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃薄膜的外延生长与介电特性
- Dielectric Properties of Nanocrystalline Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃ Thin Films Epitaxially Grown on（001） SrTiO3∶Nb Single Crystal Substrate
- 广东工业大学学报 2008年25卷第1期页码：11-14
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  广东省自然科学基金资助项目(05001825)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2008
- 稿件说明：
移动端阅览
杨中服, 唐新桂. 纳米晶Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃薄膜的外延生长与介电特性[J]. 广东工业大学学报, 2008, 25(1): 11-14.

Yang Zhong-fu, Tang Xin-gui. Dielectric Properties of Nanocrystalline Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃ Thin Films Epitaxially Grown on（001） SrTiO3∶Nb Single Crystal Substrate[J]. 2008, 25(1): 11-14.
杨中服, 唐新桂. 纳米晶Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃薄膜的外延生长与介电特性[J]. 广东工业大学学报, 2008, 25(1): 11-14. DOI：

Yang Zhong-fu, Tang Xin-gui. Dielectric Properties of Nanocrystalline Ba(Zr_0.2Ti_0.8)O₃ Thin Films Epitaxially Grown on（001） SrTiO3∶Nb Single Crystal Substrate[J]. 2008, 25(1): 11-14. DOI：

摘要

用脉冲激光沉积工艺在半导体(001)SrTiO3∶ω(Nb)=1.0%单晶基片上

外延生长出Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(简称BZT)介电薄膜.在650℃原位退火10 min

薄膜为(001)外延生长的晶粒.薄膜的晶化特征与表面形貌用薄膜X-ray衍射仪和原子力显微镜测量完成.BZT薄膜(002)峰的半峰宽只有0.72°

说明薄膜晶化良好;薄膜的平均晶粒为90 nm

表面均方根粗糙度为4.3 nm

说明薄膜表面平整.在室温、100 kHz和500 kV/cm条件下

BZT的最大介电常数和调谐百分率分别达到317和65%. 更多还原

Abstract

Highly oriented Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 thin films are grown on(001) SrTiO3∶ω(Nb)=1.0 % single crystal substrates using pulsed laser deposition and the dielectric properties of the films are evaluated.The thin films are in situ annealed at 650 ℃ for 10 min.and the highly(001)-oriented BZT thin films are obtained.The structure and surface morphology of the films have been characterized by X-ray diffraction(XRD) and atomic force microscopy(AFM).XRD and AFM characterization reveal a good crystallinity:the...

关键词

Keywords

references

唐新桂,梁建烈,农亮勤,熊惠芳,陈王丽华. PLD法制备高介电调谐率的纳米晶BZT薄膜[J]. 电子元件与材料. 2007(01)

蒋力立,黄开胜,唐新桂,陈王丽华. 高度(100)取向的BST薄膜及其高介电调谐率[J]. 电子元件与材料. 2005(12)

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

纳米晶Ba(ZrTi)O薄膜的外延生长与介电特性

SCA-YOLO: 基于可变形卷积与上下文感知注意力的实时目标检测

基于数字混频的脉冲式激光测距方法的研究与实现

基于PSI技术的福州市地面形变监测与影响因素分析

储能变流器电能质量治理策略研究