用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

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用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

综合研究 | 更新时间：2026-05-27

- 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统
- Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line
- 广东工业大学学报 1999年16卷第2期页码：7-10
- 作者机构：
- 作者简介：
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- DOI：
  中图分类号：
- 网络首发：1999-07-02，
  
  纸质出版：1999
- 稿件说明：
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许立梓, 李传芳, 林文豪, 郑锐生. 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(2): 7-10.

Xu Lizi, Li Chuanfang, Lin Wenhao, et al. Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line[J]. 1999, 16(2): 7-10.
许立梓, 李传芳, 林文豪, 郑锐生. 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(2): 7-10. DOI：

Xu Lizi, Li Chuanfang, Lin Wenhao, et al. Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line[J]. 1999, 16(2): 7-10. DOI：

介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件．

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