마이크로파 공진 케이비티 공진자법을 사용하여 수증기 습도를 측정할 때 케이비티 공진자의 내부 벽면에는 물막과 소금이 침전됩니다. 물막 및 소금 층의 두께에 따른 케이비티 공진 주파수의 변화를 계산하고, 이에 따른 매질 침전의 수증기 습도 측정에 대한 영향을 분석합니다. 연구 결과는, 얇은 물막이나 소금 침전은 습도 측정에 큰 영향을 미치지 않으나, 침전 두께가 증가할수록 그 영향은 유의하게 증가합니다. 같은 두께의 물막일 때, 습한 수증기 압력(온도)이 측정 결과에 미치는 영향이 적으며, 습한 수증기 압력(온도)이 증가함에 따라 그 영향이 약간 감소합니다. 물막의 영향은 소금 침전의 영향보다 크나, 증기기관 배기수의 수증기 습도 측정에 사용될 때, 케이비티 공진자 내부 벽면에 침전된 물막의 두께는 35μm 미만이며, 물막의 영향으로 인한 습도 측정의 편차는 1.262% 미만입니다.