초임계 단위의 과열기에서 산화 코팅의 화학적 청소 기술의 효과를 평가하기 위해 손실량법, 에너지 분광분석법 및 금속 조직의 현미경 관찰 등의 방법을 사용하여 화학적 청소 이전과 이후의 화학적 특성을 분석하였으며, 초임계 단위에 사용된 T23, T91 및 TP347H의 3가지 대표 재료에 대한 분석 결과를 제시하였다. 결과는 화학적 청소가 튜브의 표면 산화물을 효과적으로 제거할 수 있음을 보여주며, 제거율이 90% 이상임을 보여주었다. 주로, T23 튜브의 산화층은 주로 철 산화물이며, 화학적 청소가 완전히 제거할 수 있다. T91 튜브의 산화층은 2층으로 나누어지고, 화학적 청소 후에는 일부 내부 산화층이 남아 있으며, 남은 부분이 크롬이 풍부하다. TP347H 튜브의 산화층 두께는 청소 후 크게 줄어들며, 남은 부분이 크롬이 풍부하다. T91 재료의 부식 저항성이 가장 나쁘며, 총 부식량은 18.97 g/m2이고 부식 속도는 0.38 g/(m2·h)이며, T23 재료가 그 뒤를 이었으며, TP347H 재료의 부식 저항성이 가장 좋다. 화학적 청소는 오스테나이트 강재인 TP347H에 결정간부식을 유발시키지 않는다.