マイクロ波共振空洞法で蒸気湿度を測定する際、共振空洞内壁には水膜と塩の堆積が生じます。水膜および塩の堆積の厚さによる共振空洞の共鳴周波数の変化を計算し、それに伴う介質の堆積が蒸気湿度測定に与える影響を分析します。研究結果は、薄い水膜または塩の堆積は湿度測定には影響が少ないが、堆積の厚さが増すにつれてその影響が顕著に増加します。同じ水膜厚さの場合、湿潤蒸気圧力（温度）が測定結果に与える影響は小さく、湿潤蒸気圧力（温度）が上昇するとその影響は少し減少します。水膜の影響は塩の堆積の影響よりも大きいが、蒸気機関の排気湿度測定に使用する際、共振空洞内壁に堆積した水膜の厚さは35μm未満であり、水膜の影響による湿度測定の偏差は1.262％未満です。

蒸気機関排気; マイクロ波共振子; 蒸気湿度; 水膜; 塩の堆積