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Published:2026
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时姣, 范文婷. 振打式除尘器在单晶硅棒直拉工艺中的应用与优化研究[J]. 2026, (6): 75-80.
DOI:
时姣, 范文婷. 振打式除尘器在单晶硅棒直拉工艺中的应用与优化研究[J]. 2026, (6): 75-80. DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn20251107.01.
采用直拉法制造单晶硅棒的过程中产生的混合粉尘是影响单晶硅质量、设备稳定性和生产安全的核心因素之一。针对传统振打式除尘器面临的清灰不彻底、滤袋易损伤、炉压波动大等难题,首先对振打式除尘器的工作机理进行了分析;然后对滤袋的失效模式及其对直拉工艺的负面影响进行了深度剖析,并针对性地从滤袋材质与结构优化、智能控制策略的升级与应用、氧化工艺的安全强化措施3个方面提出优化方案;最后对振打式除尘器的未来发展趋势进行了展望。研究结果表明:1)滤袋的失效模式主要包括透气量不足型失效、烧毁型失效、漏灰/破损型失效这3种类型。2)采用PTFE纤维的滤袋能显著提升其抗机械疲劳能力与使用寿命。3)基于压差传感器的触发控制功能可实现“按需除尘”,避免了不必要的振打,从而极大延长了滤袋使用寿命,并稳定了除尘器的系统压力。4)建立基于集尘腔温度、氧化时间、氧浓度的多重硬联锁安全氧化流程,是消除硅粉燃爆风险、保障人身与设备安全的根本性技术措施。
直拉单晶硅工艺技术[M].化学工业出版社,2017.
袋式除尘器技术要求[S].2009.
袋式除尘工程通用技术规范[S].2012.
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