透明导电氧化物(TCO)薄膜是钙钛矿光伏电池的关键材料之一，其性能直接影响光伏电池的短路电流、填充因子及光电转换效率。为了进一步提高钙钛矿光伏电池光电转换效率及稳定性，TCO薄膜的光电性能及制备技术仍需进一步优化。从钙钛矿及其叠层光伏电池的结构特点出发，系统分析了TCO薄膜的光电性能及其与相邻层的界面相互作用对光伏电池性能的影响，详细介绍了不同材料体系TCO薄膜的制备技术、靶材特性及其在钙钛矿及钙钛矿叠层光伏电池中的研究现状，并展望了适用于钙钛矿光伏电池的高性能TCO薄膜发展趋势。研究结果表明：目前，氧化铟基TCO仍凭借高迁移率和低电阻率占据主流，但铟资源稀缺且其高温工艺与钙钛矿材料兼容性差。无铟体系(比如：氧化锌、氧化锡)虽成本较低，却受限于载流子迁移率低和界面功函数失配等问题。在制备技术上，磁控溅射和反应等离子体沉积(RPD)虽能保证大面积均匀性，但低温下结晶度不足、沉积速率偏低。因此，未来TCO薄膜的突破需聚焦于光电性能优化、降本增效、界面调控及工艺升级等方面。