管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化

doi:10.19911/j.1003-0417.tyn20240530.01

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管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化

更新时间：2025-10-15

- 管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化
- Issue 9, Pages: 88-94(2025)
- 作者机构：
  
  1. 湖南红太阳光电科技有限公司
  2. 国家光伏装备工程技术研究中心
  3. 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.19911/j.1003-0417.tyn20240530.01
  CLC： TM914.4
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (9): 88-94.
DOI：

[J]. 2025, (9): 88-94. DOI： 10.19911/j.1003-0417.tyn20240530.01.

摘要

为增大管式PECVD设备中源柜（下文简称为“管式PE源柜”）内部的安装、调试及后期维护空间，且实现从源柜侧安装和更换石英管，首先对管式PE源柜的常规空间布局进行了设计优化；然后对不同的优化方案进行了对比；最后对最佳优化方案的应用效果进行了介绍，并对未来优化方向进行了展望。研究结果显示：相较于管式PE源柜的常规空间布局，采用将内部管道从反应室抽口伸出后先左转，再直行从管式PE源柜背面中间伸出，并与外部管道对接的优化方案（即B

版优化方案）后，管式PE源柜的现场调试效率提升了20%，石英管更换效率提升了40%，且源柜的美观性也得到大幅提升。

Abstract

关键词

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