TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究

周塘华; 谢婉丽; 易辉; 谌业斌; 邹佳朴; 孙浩月

doi:10.19911/j.1003-0417.tyn20240104.01

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TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究

更新时间：2025-12-10

- TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究
- Issue 1, Pages: 70-78(2025)
- 作者机构：
  
  1. 湖南红太阳新能源科技有限公司
  2. 江苏超晶新能源科技有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.19911/j.1003-0417.tyn20240104.01
  CLC： M914.4
- Published：2025
- 稿件说明：
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周塘华, 谢婉丽, 易辉, et al. TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究[J]. 2025, (1): 70-78.
DOI：

周塘华, 谢婉丽, 易辉, et al. TOPCon太阳电池LPCVD技术路线下的EL黑边、黑角改善研究[J]. 2025, (1): 70-78. DOI： 10.19911/j.1003-0417.tyn20240104.01.

摘要

EL黑边、黑角是TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时遇到的重点和难点问题，其不仅会导致光电转换效率和良品率下降，还会使太阳电池内出现EL图像明暗不均的问题。为了改善EL黑边、黑角问题，对TOPCon太阳电池采用LPCVD技术路线时的EL黑边、黑角问题进行了分析和改善研究。研究结果表明：TOPCon太阳电池生产线上出现的EL黑边、黑角问题主要是由LPCVD设备内首舟的气场与碱抛自然氧化层不均匀叠加导致。通过优化LPCVD自动化放舟程序和调整焖氧时间，EL黑边、黑角、EL石英舟印和EL氧化脏污现象均得到了明显改善，EL黑边、黑角改善幅度为0.45%，高温类EL不良占比改善幅度达3.04%。

Abstract

关键词

Keywords

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