大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析

杨立鑫; 陈俞钱; 谢亚红; 彭旭峰; 梁立振; 胡纯栋

doi:10.16056/j.2096-7705.2024.01.019

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大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析

更新时间：2026-01-19

- 大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析
- Vol. 16, Issue 1, Pages: 138-144(2024)
- 作者机构：
  
  1. 东华理工大学核科学与工程学院
  2. 中国科学院合肥物质研究院等离子体物理研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.16056/j.2096-7705.2024.01.019
  CLC： TL629.1
- Published：2024
- 稿件说明：
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杨立鑫, 陈俞钱, 谢亚红, et al. 大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析[J]. 2024, 16(1): 138-144.
DOI：

杨立鑫, 陈俞钱, 谢亚红, et al. 大面积单激励器射频离子源等离子体均匀性分析[J]. 2024, 16(1): 138-144. DOI： 10.16056/j.2096-7705.2024.01.019.

摘要

为了提高等离子体分布均匀度，基于有限元分析法与实验相结合的方法，从射频离子源驱动器尺寸和引出区尺寸2个方面对单驱动射频离子源放电室进行设计。模拟研究结果表明，电子均匀度的增长幅度随驱动器尺寸的大小变化比较缓慢。根据不同驱动器尺寸电子密度分布研究结果，在引出区尺寸为320 mm时，电子均匀度能够满足90%的要求。根据实验研究结果表明，在引出区尺寸为320 mm时电子分布均匀且均匀度>90%，并与模拟结果相吻合。因此，为使得等离子体分布均匀度能够达到要求，离子源放电室底部引出面附近引出区尺寸应该设计为320 mm。

Abstract

关键词

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