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基于反应磁控溅射SnO2薄膜的氢气传感器制备工艺与性能测试
更新时间：2026-01-09

    • 基于反应磁控溅射SnO2薄膜的氢气传感器制备工艺与性能测试

    • Vol. 51, Issue 7, Pages: 3201-3212(2025)

    • DOI：10.13336/j.1003-6520.hve.20240647    

      CLC：

    • Published：2025

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  • {{article.zuoZhe_EN}}. 基于反应磁控溅射SnO2薄膜的氢气传感器制备工艺与性能测试[J]. 2025, 51(7): 3201-3212. DOI： 10.13336/j.1003-6520.hve.20240647.

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