SOI Technology and the Latest Develop ment in It

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- SOI Technology and the Latest Develop ment in It
- Vol. 16, Issue 3, Pages: 89-94(1999)
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- Online First：02 October 1999，
  
  Published：1999
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罗南林, 吴福根. SOI技术及其最新进展[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(3): 89-94.

L U O Nan lin, W U Fu gen. SOI Technology and the Latest Develop ment in It[J]. 1999, 16(3): 89-94.
罗南林, 吴福根. SOI技术及其最新进展[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(3): 89-94. DOI：

L U O Nan lin, W U Fu gen. SOI Technology and the Latest Develop ment in It[J]. 1999, 16(3): 89-94. DOI：

介绍了近年来实现三维集成电路中的关键技术——— ＳＯＩ技术的各类方法，重点讨论了各种ＳＯＩ技术的最新进展．

罗南林,杨春晖,刘百勇. 横向固相外延生长及其影响因素的研究[J]. 半导体技术. 1998(05)

范缇文,袁俊,L.M.Brown. 氮离子注入形成的SOI结构的研究[J]. 半导体学报. 1988(05)

闵靖. 形成SIMOX结构的PIII新技术的研究[J]. 半导体学报. 1995(08)

粟根克昶,揭庆应. 三维器件和SOI技术[J]. 微电子学. 1986(01)

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